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設備介紹
GNX300B
l日本OKAMOTO生產
l減薄尺寸:8”~12”
l極限減薄厚度:100um
l轉速:0~3600rpm
l最小移動量:1um
l單片誤差:10um
l片間誤差:±5um
VG502-MKII 8B
l日本OKAMOTO生產
l減薄尺寸:5”~8”
l極限減薄厚度:100um
l轉速:0~3600rpm
l最小移動量:1um
l單片誤差:10um
l片間誤差:±5um
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